Скачать в pdf формате.
Лучший выбор, когда требуется высокий уровень чистоты окружающей среды: например, для технологического оборудования по производству полупроводниковых и жидкокристаллических устройств. Обеспечивается класс чистоты 2 или 3 (Федеральный стандарт 209D Класс 1).